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微细加工技术的研究现状表现为精密加工、纳米加工等技术的不断进步,其在集成电路、生物医学等领域的应用日益广泛。发展趋势方面,随着科技的不断进步,微细加工技术将进一步发展,加工精度将不断提高,加工材料范围将进一步扩大,智...